В России началась разработка 11,2-нм системы EUV-литографии

32 3376

Россия разрабатывает собственную технологию EUV-литографии с длиной волны 11,2 нм, что отличается от установленного стандарта компании ASML в 13,5 нм

Россия готовится к созданию собственных литографических машин с экстремальным ультрафиолетовым излучением (EUV). Однако, отечественная технология идет другим путем, используя длины волны 11,2 нм вместо более распространенной 13,5 нм, используемой системами компании ASML. Николай Чхало из Института физики микроструктур Российской академии наук возглавляет эту работу, надеясь сделать литографическое оборудование более дешевым и менее сложным.

Новые российские машины EUV будут использовать лазеры, работающие на ксеноне, отходя от подхода ASML, использующей олово. Чхало утверждает, что длина волны 11,2 нм обеспечивает 20-процентный прирост разрешения и может упростить проектирование оптики, одновременно снижая производственные затраты. Кроме того, новая технология уменьшает загрязнение оптических элементов, что должно помочь ключевым механизмам, таким как коллекторы и защитные пленки, проработать гораздо дольше.

Тем не менее, эти машины не будут такими быстрыми, как у ASML. Они будут работать примерно на 37 процентах пропускной способности систем ASML, используя источник света мощностью 3,6 кВт. Хотя это не очень хорошо для крупносерийного производства, но этого достаточно для мелкосерийного производства.

Переход на длину волны 11,2 нм означает, что необходимо создать совершенно новую экосистему, например, специальные зеркала, покрытия, конструкции масок и фоторезисты. Даже программные инструменты для проектирования чипов требуют серьезной переработки, особенно для подготовки данных масок и оптических коррекций.

Стоит отметить, что пока не определены временные рамки для этапов разработки, но эксперты считают, что создание полноценной экосистемы литографии может занять около десяти лет, хотя, всё будет зависеть от объемов финансирования. Также пока нет информации о том, какие нормы производства будут поддерживать отечественные литографы.

источник: https://overclockers.ru/blog/g...

Они ТАМ есть: «кому нужнее»

Ответственность – это то, что не дает спокойно жить, когда ты знаешь, что не выполнил должное. Пусть не от тебя это зависело, но просто так скинуть мысли о том, что не смог, забыть и сп...

Кто должен учить детей мигрантов русскому языку? Пётр Толстой дал чёткий и однозначный ответ

Кто же будет учить детей мигрантов русскому языку? Вице-спикер Госдумы Пётр Толстой дал простой и очень понятный ответ на этот вопрос, который неожиданно стал крайне модным после принят...

ХОЛОПЫ В АВАНГАРДЕ?

      В интернете масса публикаций о «рабстве» в России. Красные, ставшие  патриотами и  поклонниками русской  цивилизации обвиняют Романовых, что даже стр...

Обсудить
  • Безмозглому быдлу лет сорок запрещали усовершенствовать автомобили, а литографы и подавно не дадут сделать. Что-нибудь случится и, как всегда, на высокие технологии дадут пять копеек, а говорящим мартышкам пообещают прибыль на триллионы рублей.
  • ASML, ASML, ASML...... все зациклились на ASML. А ведь она не единоличная владелица способа производства МС. Как и отвертки могут быть разной формы, длины и формы шлица.
  • :disappointed_relieved: :disappointed_relieved:
  • :thumbsup: :fist:
  • :thumbsup: :thumbsup: :thumbsup: