В Новосибирске разработали инновационный лазер для печати микросхем

Устройство работает с помощью ультрафиолетового излучения

Специалисты в Новосибирске создали импортозамещающую лазерную систему для печати шаблонов с помощью ультрафиолетового излучения при изготовлении микросхем. Разработка не имеет аналогов в России, сообщили ТАСС в компании-разработчике "Оптические технологии".

При производстве микросхем фотошаблон нужен для нанесения рисунка на тонкую пластину материала. Он представляет собой тонкую пленку с рисунком, который соответствует необходимой схеме на поверхности кремниевой пластины. Более 75% всех выпускаемых сейчас фотошаблонов высокого разрешения изготавливаются именно с помощью лазерной литографии - метод нанесения изображения на поверхность материала с помощью сфокусированного лазерного луча.

"Мы импортезамещаем американские лазеры Coherent на 257 нанометров, и все оборудование и фоторезисторы заточены под эту длину волны. Аналогов в России нет, потому что это узкоспециализированные лазеры", - сказал собеседник агентства.

Программно-аппаратный комплекс включает в себя лазер, который задает основную энергию в 10-30 милливатт, и волоконный усилитель, увеличивающий мощность лазера до 15 ватт.

Внутрь системы также установлен специальный кристалл, который используется для преобразования частоты лазерного света. "Получается дополнительная генерация", - пояснил представитель компании.

Сейчас разработчиками создан предсерийный прототип для испытаний на белорусском предприятии электронной промышленности "Планар", занимающемся производство наиболее массовых микросхем, где используются и другие изделия компании. Особенность разработанной системы в ее малом энергопотреблении. "Она потребляет 1 ватт энергии, меньше чайника в два раза", - уточнил он. Это позволяет снизить затраты на электроэнергию и повысить эффективность производства.

Компания "Оптические технологии" находится в новосибирском Технопарке (Академпарке), одном из крупнейших в России. Он начал функционировать в 2006 году, в нем насчитывается более 300 высокотехнологичных компаний. Сейчас общая площадь зданий составляет 119,1 тыс. кв. м. В планах ее увеличение до 306 тыс. кв. По итогам 2024 года технопарк увеличил выручку компаний-резидентов по итогам 2024 года на 9% - с 55 до свыше 60 млрд рублей.

источник: https://nauka.tass.ru/nauka/24...