Крупнейший российский производитель микроэлектроники Микрон тестирует первый высокочувствительный фоторезист отечественного производства для техпроцессов 90 нм.
Фоторезист — светочувствительный полимерный материал для фотолитографии. Он используется в ключевом процессе изготовления интегральных микросхем для получения на поверхности обрабатываемого материала «окна» для доступа травящих веществ.
В техпроцессах Микрона используется 43 сверхчистых химических материала и 39 специальных электронных газов и смесей, ведется активная работа по замене всех компонентов отечественными аналогами.
В программе Микрона по импортозамещению материалов участвуют более 16 российских производителей и научных институтов. Новый отечественный фоторезист выпускается на предприятии Приволжского федерального округа, крупнейшего в стране центра химической промышленности, обеспечивающего более 40% от общего объема производства российских химических материалов.
Микрон
Оценили 4 человека
8 кармы