Микрон тестирует первый отечественный фоторезист для 90 нм производства

Микроэлектроника это далеко не только оборудование, это еще и сверхчистая химия и сверхчистые газы. Поэтому совершенно невероятно чтобы одна страна могла сегодня обладать всей цепочкой микроэлектронного производства, от производства оборудования до готовой микросхемы. Но Россия поставлена в такие условия, что нам придется этого достичь. И к этой цели сделан еще один шаг.

Компания «Микрон», крупнейший российский производитель микроэлектроники (входит в группу компаний «Элемент», ELMT) и резидент особой экономической зоны «Технополис Москва», успешно завершила тестирование первого отечественного высокочувствительного фоторезиста для технологических процессов 90 нм. Это значительный шаг в развитии российской микроэлектроники и обеспечении технологического суверенитета страны.

В производственных процессах «Микрона» используются 43 сверхчистых химических материала и 39 специальных электронных газов и смесей. Компания активно работает над заменой всех импортных компонентов отечественными аналогами. Важно, что работы по импортозамещению ведутся в тесном сотрудничестве с научными институтами, что позволяет быстро внедрять результаты исследований в производство», — отметила Гульнара Хасьянова, генеральный директор АО «Микрон». Она также подчеркнула, что создание отечественного фоторезиста для 90 нм является важным этапом в развитии микроэлектроники и пригласила к сотрудничеству всех заинтересованных производителей.

В программе «Микрона» по импортозамещению участвуют более 16 российских производителей и научных институтов. Новый фоторезист производится на предприятии в Приволжском федеральном округе, который является крупнейшим центром химической промышленности в России, обеспечивающим более 40% общего объема производства химических материалов в стране.

Фоторезист — это светочувствительный полимерный материал, используемый в фотолитографии, ключевом процессе производства интегральных микросхем. Он позволяет создавать на поверхности обрабатываемого материала «окна» для доступа травящих веществ. Высокое качество и соответствие материала техническим требованиям обеспечивают точное формирование элементов на кремниевых пластинах.

Развитие отечественной электронной компонентной базы (ЭКБ) является основой технологической независимости и безопасности России. Микроэлектроника относится к числу критических и сквозных технологий, и развитие устройств на основе отечественной ЭКБ является одним из ключевых направлений стратегии развития радиоэлектронной промышленности. Согласно Концепции технологического развития, к 2030 году доля отечественной продукции, включая чипы, высокоточные станки, робототехнику, фармацевтику, медицинское оборудование, телекоммуникационную технику, программное обеспечение и авиакосмическую технику, должна составлять не менее 75% от общего объема потребления.

20-21 февраля 2025 года «Микрон» представил свои достижения в области импортозамещения высокочистых химических материалов и электронных газов на III Форуме будущих технологий «Новые материалы и химия», который проходил в Москве.

Группа компаний «Микрон» — единственное в России серийное производство микроэлектроники с топологией до 90 нм. Компания входит в группу «Элемент» (ELMT) и является резидентом ОЭЗ «Технополис Москва». «Микрон» производит более 800 типономиналов продукции, включая интегральные схемы для автоэлектроники, интернета вещей, жестких условий эксплуатации, защищенных носителей данных, идентификационных, платежных и транспортных документов, а также микросхемы управления питанием и RFID-маркировки для различных отраслей цифровой экономики. Продукция компании включена в реестр отечественной промышленной продукции.

ПАО «Элемент» — один из крупнейших разработчиков и производителей электроники в России, лидер в области микроэлектроники. В состав группы входят более 30 компаний, занимающихся производством интегральных микросхем, полупроводниковых приборов, силовой электроники, модулей, корпусов для микросхем и радиоэлектронной аппаратуры.

Тем более, абсолютно невероятно, что страна (любая вообще) могла бы сразу освоить 7-3 нм, это невозможно в принципе никак вообще. Никто в мире на это не способен. Поэтому принято очень верное решение — 90нм позволяют производить 80% всех необходимых в экономике микросхем, а для космического или военного применения эта технология с избытком закрывает 100% любых хотелок. Поэтому логично развивать именно это направление и для начала локализовать его, постепенно от химии и газов, до оборудования.

Что успешно и делается.

s_u_n