Российская компания «Оптические технологии» из Новосибирска разработали отечественную лазерную систему для печати фотошаблонов при помощи ультрафиолетового излучения. Эти фотошаблоны в дальнейшем применяются для нанесения рисунка на кремниевые пластины.
При производстве микросхем фотошаблон нужен для нанесения рисунка на тонкую пластину материала. Он представляет собой тонкую пленку с рисунком, который соответствует необходимой схеме на поверхности кремниевой пластины.
Более 75% всех выпускаемых сейчас фотошаблонов высокого разрешения изготавливаются именно с помощью лазерной литографии - метод нанесения изображения на поверхность материала с помощью сфокусированного лазерного луча.
Данная разработка призвана импортозаместить американские лазеры Coherent на 257 нанометров.
Программно-аппаратный комплекс установки включает в себя лазер, который задает основную энергию в 10-30 милливатт, и волоконный усилитель, увеличивающий мощность лазера до 15 ватт.
Оценили 56 человек
76 кармы