Российский литограф на 350 нм сдан и готов к производству!

Последняя информация о российском литографе на 350 нм с рабочей длиной волны 365 нм озвучивалась ещё год назад, когда заместитель министра промышленности и торговли Василий Шпак сообщил, что первый российский литограф уже создан и проходит испытания.

С тех пор в СМИ не появлялось никакой конкретики, хотя испытания должны были закончится ещё в ноябре прошлого 2024-го года. И вот, 20 марта 2025-го года появился репортаж блогера Максима Горшенина непосредственно с ЗНТЦ, разработавшего этот литограф вместе с Белорусским Планаром.

Скажем так, литограф строили специалисты Планара, а ЗНТЦ разрабатывал техпроцесс, позволяющий этому устройству производить чипы по технологии 350 нм (и даже немножко меньше). Несмотря на то, что он рассчитан на техпроцесс 350 нм, разработчики выжимали из него и 320 нм.

Литограф прошёл госиспытания, был сдан и принят комиссией. Теперь «ЗНТЦ» готов принимать заказы на его серийное производство. Время изготовления и поставки литографа вместе с техпроцессом у заказчика — 1,5 года. Ещё до полугода нужно на наладку техпроцесса, что соответствует общемировой практике, хотя для относительно несложного техпроцесса это может занять и месяц-два.

Две неназванные компании уже высказали свою заинтересованность в покупке этого оборудования. Очевидно, что одна из этих компаний — Микрон. Ведь ещё осенью прошлого 2024-го года компании «Микрон» и «ЗНТЦ» подписали долгосрочное соглашение о сотрудничестве в освоении технологий и производстве фотолитографического оборудования с нормами 350-90 нм.

Конструктивные особенности

Из-за сжатых сроков, а литограф должны были создать всего за 4 года, его выполнили в незащищённом варианте. У него нет своего защитного корпуса, и его эксплуатация подразумевается внутри микроклиматического кабинета.

Такое решение имеет и плюсы и минусы. Плюс — в упрощении обслуживания литографа, поскольку все его части открыты и хорошо доступны. Минус — в необходимости создавать для его размещения на фабрике специальный микроклиматический кабинет.

Один из наиболее сложных узлов литографа — оптическая колонна из 27 линз, сделанных из кварцевого стекла. Её можно увидеть на фото выше за стеклом микроклиматического кабинета.

Снаружи, перед окошком микроклиматического кабинета, размещён модуль загрузки пластин.

Рабочее название литографа (степпера) — СТП-350. Он поставляется в вариантах для работы с пластинами либо 150, либо 200 мм, в зависимости от требования заказчика. Это типичные диаметры для литографов, использующихся в техпроцессах толще 180 нм. Замечу, что такие диаметры пластин используются также и для выпуска малых партий на более тонких техпроцессах.

Если требуется поменять диаметр пластин в процессе эксплуатации, то просто меняется столик, производится переналадка, и литограф готов к работе с другим диаметром.

В настоящий момент ведётся донастройка литографа и связанных с ним техпроцессов под «хотелки» и требования конкретных заказчиков. В ЗНТЦ для этого оборудован кластер из отечественного оборудования, позволяющий выполнять весь технологический цикл нанесения резиста, экспонирования и проявки.

Что ещё в разработке у ЗНТЦ?

1. Литограф на 130 нм. В настоящий момент разрабатывается объектив для него.

2. Установка контроля привносимой дефектности пластин без топологии.

3. Установка переноса знаков совмещения на обратную сторону пластины.

4. Электронно-лучевой литограф.

Первые три установки, как и литограф на 350 нм, разрабатывает непосредственно Планар, а задача ЗНТЦ — постановка технологий, консультации, внесение замечаний и предложений, как практика, поскольку он занимается кристальным производством и имеет большой опыт в техпроцессах.

Вывод

Таким образом, мы имеем фактически Планаровский литограф с техпроцессом от ЗНТЦ. Насколько можно понять из рассказа руководителя Центра разработки технологического оборудования, литограф собран с использованием в том числе и каких-то заведомо хороших зарубежных узлов, чтобы ускорить процесс разработки, но сейчас идёт постоянная работа по поиску достойной отечественной замены для таких модулей.

Первый экземпляр литографа Минпромторг оставляет ЗНТЦ в опытное пользование для экспериментирования с различными доработками, а в продажу пойдут уже серийные машины, первая из которых, как уже говорилось выше, вместе с готовым техпроцессом под конкретного пользователя появится через полтора года.

Заключение

У меня есть три негативных пункта, по которым мои представления об этом литографе не совпали с реальным положением дел:

1. Честно говоря, я думал, что срок постройки серийного литографа окажется более коротким. Всё таки это относительно простая машина по сравнению, скажем, с рентгеновским оборудованием для производства чипов.

2. Мне почему-то казалось, что ЗНТЦ своими специалистами частично участвует в создании литографа, а не только разрабатывает техпроцесс. И что разработка и сборка литографа идёт на базе ЗНТЦ, просто с привлечением специалистов из Планара. Но, судя по всему, за всё «железо» литографа отвечает Белорусский Планар, и производится он там. Это меня немного напрягает после проблем с Украиной. Мы же не знаем, кто там придёт после Лукашенко. Переданы ли ЗНТЦ чертежи и патенты?

3. Выясняется, что в литографе всё же используются какие-то иностранные узлы, хотя работа по их замещению продолжается. Насколько я помню, ОКР не предусматривал использования иностранных комплектующих. Если не по букве, то по духу.

Взято из Электромозг